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大范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY

產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品時(shí)間：2024-05-21
簡要描述：室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

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產(chǎn)品介紹

室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

?范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY產(chǎn)品特?

• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；

• 最?負(fù)載 500 g；

• 針對光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級

Carrier.S200.XY ?范圍壓電掃描臺 — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ?	正常版本
.NM 絕對?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本；
1 底?尺?*?度	180 mm × 150 mm × 20 mm
2 主體材料	鋁合?
3 中空透孔	80 mm × 60 mm
4 運(yùn)動(dòng)?程	200 um × 200 um
5 閉環(huán)分辨率	優(yōu)于1nm
6 推薦最?負(fù)載	500 g
7 閉環(huán)傳感器	電容式
8 電容精度	0.3 nm
9 壓電電容(X, Y)	6.5 uF
9 壓電電容(X, Y)	15 到 40 攝?度
10 推薦使?溫度	15 到 40 攝?度
11 質(zhì)量	1 kg
12 安裝	螺紋孔?動(dòng)兼容 Carrier.L7550.XY

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