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Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動(dòng)對(duì)焦掃描臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品時(shí)間：2024-05-21
簡(jiǎn)要描述：壓電 · ?范圍掃描運(yùn)動(dòng) — Carrier.S100-OB.Z
室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

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壓電 · ?范圍掃描運(yùn)動(dòng) — Carrier.S100-OB.Z

室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動(dòng)對(duì)焦掃描臺(tái)產(chǎn)品特?

• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；

• 最?負(fù)載 500 g；

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級(jí)

Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動(dòng)對(duì)焦掃描臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ?			正常版本
	.NM 絕對(duì)?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本；
1	運(yùn)動(dòng)?向	Z 軸
2	?程	100 um
3	線性度	0.02%
4	搖擺 / 俯仰	30 urad
5	內(nèi)置傳感器	電容式傳感
6	傳感器噪?	0.3 nm
7	Z ?向分辨率，開(kāi)環(huán)	0.1 nm
8	穩(wěn)定時(shí)間 (90%位置到達(dá))	15 ms
		0.4 N/um
9	剛性
10	共振頻率(?負(fù)載)	650 Hz
11	共振頻率( 150 g 負(fù)載)	275 Hz
12	整體重量	270 g
13	不銹鋼304 ，鋁合?

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